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第645章 鄭通元詳說光刻機,國泰摸到門了

  

  (本章主要講述國產光刻機的曾經光輝歷程,以示以往的艱辛和國人智慧。恐有不信者,佔用一個章節以述。不喜者可直接略過)

  「國泰兄弟你居然也知道光刻機?這個行業非常冷門。別說一般人,甚至就連很多官員領導都不知道。」

  鄭通元被陳國泰的激烈反應嚇了一跳,隨即滿臉驚奇地說道。

  「我當然知道。鄭大哥,我的專業是機械製造,所以我一直都在關注機械製造的發展前沿狀況......從1959年漂亮國人研究出世界上第一台五軸聯動加工機器開始到現在,機械製造往智能控制發展的苗頭趨勢已經越來越明顯。你說我能不關注與工控晶元直接相關的光刻機嗎?」

  陳國泰腦瓜子一轉,立即解釋道。

  「這個倒也是哈。我國從52年研究成功第一台數控機床開始,對工控晶元的需求就越來越旺盛,要求的晶元性能也在不斷提升......國防工業對晶元的需求也與日俱增供不應求......」

  鄭通元釋然地點了點頭,很自然地講述了起來。

  陳國泰立即凝神聽取,不願錯過任何一個字。

  這些知識都是他知識儲備庫裡沒有的。

  「......1971年之前,因為西方世界對我們的嚴密封鎖,我們所有的工控晶元都是靠著一大群技藝精湛的八級鉗工用手工進行製作。這種製作方式雖然讓我們的晶元製程基本達到當時10微米(一毫米等於一千微米。一微米等於一千納米)級別的世界主流水平,但是也有著非常巨大的缺陷......」

  鄭通元滿臉感慨地提到了一個關鍵時間點:1971年。

  聽講的陳國泰更加打起了精神。

  「......這個缺陷就是產量極低且良品率極其低下。耗費了巨量人力物力製作出來的極少量合格晶元,隻能用在最為急需的導彈、衛星、火箭以及極少數最為重要的加工設備上面......70年前後,國家為了妥善解決這個問題,終於下定決心集中人力和物力,研究我們自己的光刻機。說起這事,就不得不提到徐瑞林(此為化名。但的確有這麼一個英雄人物)徐總工。當時上面緊急調回已經下放下去『學種水稻』的徐總工,讓他在清大裡面緊急組建攻關團隊......」

  提起徐總工這個人,鄭通元臉上不由自主地露出了深深敬仰之色。

  「徐瑞林?清大?鄭大哥,你要說的,是不是咱們清大那個精密儀器繫於1971年在徐瑞林徐總工的帶領下研製成功了我國第一台光刻機?」

  陳國泰神色一動,忍不住插嘴說道。

  「沒錯,的確是這樣。當時徐總工是臨危受命......沒有任何圖紙和設備,就連概念都是模糊不清,一切都是從頭開始,就連每一個螺絲都要從頭設計製造......又沒有任何加班費和獎金......但就算是這樣,徐總工帶領的團隊硬是從無到有,隻用了一年多時間,就把光刻機最主要的氣體激光器,以及工件台的精密導軌、絲杠、滾珠、步進電機、數控計算機,和其它光學系統、大孔徑投影物鏡等等組件全部研製出來並組裝成功......我個人覺得,他們團隊的行為比起從頭開始搞『和平工程』的那批偉大科學家都不遜色!」

  鄭通元講述到這裡,禁不住取下眼鏡擦了擦眼角。

  「沒錯啊。他們都是國之脊樑!應該永遠被我們的國人和所有後代銘記!」

  陳國泰對鄭通元提到的人也是肅然起敬,深深嘆服。

  「......就這樣,徐總工團隊經過一年多時間的捨命付出,終於在1971年成功研製出我國第一台光刻機和分佈重複照相機,並迅速投入規模生產,供應全國半導體行業使用,為民生工業和軍事工業持續提供『心臟』動力......就在去年,那位執政之後非常重視科技,此項成果終於榮獲全國科技大會獎。徐總工團隊也終於獲得了應有的榮譽......這台光刻機也被稱為我國第一代光刻機。它讓我國的工控晶元跟上了10微米製程的世界主流水平......」

  鄭通元徐徐吐出一口氣,總結說道。

  「鄭大哥,既然那台光刻機被稱為第一代,其實也就意味著有第二代對吧?這方面你能稍微說說嗎?」

  聽得心馳神往的陳國泰深吸了一口氣,順勢說道。

  「這個......具體的研發過程肯定不能說。不過表面上的大體情況還是可以透露一些......徐總工取得成功之後,並沒有就此止步不前。從75年開始,他帶領團隊採用直接在半導體晶片上光刻集成電路的方法,投入了對『自動對準分步投影光刻機』的研究。這項研究被稱為第二代光刻機。預計成功之後會讓我國的晶元製程突破微米級,正式扣響納米級的大門。因為它加工的最細線寬能達到零點八微米,也就是800納米......」

  鄭通元繼續敘述,卻在具體進展上停了下來。

  陳國泰很是理解地點了點頭,知趣地沒有追問。

  不過結合他前世所能記憶的模糊信息,他已經把本國光刻機的前期發展過程基本理順。

  鄭通元提到的這台『第二代光刻機』大約會在明年研究成功,並且在以後相當長時間裡都一直保持在世界一線行列。

  隨後一些年又完成了一些改進,製程基本突破微米級,被稱為第三代,一直屬於世界一流水平。

  但就在九十年代初期,晶元製程開始極速爆發。個人電腦和互聯網將瀰漫全球的前夜,因為沒有絲毫保密觀念,西方世界獲知了國內的光刻機真實發展水平。

  西方世界當即放開了對國內光刻機相關的所有封鎖,以質優價廉的光刻機系列產品迅速奪走了徐總工團隊的國內市場。

  國產光刻機從此一蹶不振。

  直到多年以後國內工業界遭遇漂亮國『晶元法案』制裁時,才由一家叫做『華威』的偉大公司領頭奮起還擊......

  「鄭大哥,你對這一切都那麼清楚,那這些書籍......」

  陳國泰定了定神,指著基本專業書籍說道。

  「我所在的研究所參與了第二代光刻機光學系統和大口徑物鏡的研究分工。這些書籍都是徐總工團隊編纂出來供研究人員學習的內部教程。雖然不是保密書籍,但外邊也絕對看不到......隻是讓我沒想到的是,小羽不但對數學極感興趣,居然對晦澀至極的光刻機知識也非常著迷......」鄭通元苦笑了一下說道。

  然而鄭通元是在苦笑,陳國泰卻是在無比舒心地笑。

  「超級數學天才,還對光刻機的製造異常著迷。這幾乎註定了是未來的頂級晶元和光刻機大佬!」

  陳國泰忍不住又看了猶自和念念開心聊天的鄭白羽,猶如看到了一個無比偉大的科學新星正在冉冉升起。

  「鄭大哥,你的具體研究我就不問了。不知道你能否說說對第二代光刻機進行分工研究的研究所都有哪些?我這純屬是好奇......」

  陳國泰隨即滿臉堆笑地對鄭通元說道。

  「這個問題......好像也不是不能講。我就告訴你吧.......」

  鄭通元雖然感到有點奇怪,卻還是沒有拒絕陳國泰的要求。

  陳國泰立即聽得更加專心,務必要把鄭通元所提到的所有人名地名都全部記住。

  晚上七點鐘,在鄭家吃過晚飯,帶著依依不捨的念念走出筒子樓時,陳國泰臉上的笑容顯得異常燦爛。

  光刻機,他摸到門了!

  ......

  

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